Verbundvorhaben: Forscherverbund: Vordringliche Massnahme zu Laser- und Entladungsbasierten EUV-Strahlquellen, Teilvorhaben Konversionsuntersuchungen für laserbasierte Quellen im EUV-Bereich in Abhängigkeit von relevanten Laserparametern : Abschlussbericht

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dc.contributor.authorNickles, P.V.
dc.contributor.authorStiel, H.
dc.contributor.authorVogt, U.
dc.contributor.authorWill, I.
dc.contributor.authorTer-Avetisyan, S.
dc.contributor.authorSchnürer, M.
dc.contributor.authorSandner, W.
dc.date.accessioned2016-03-24T17:38:51Z
dc.date.available2019-06-28T07:29:21Z
dc.date.issued2001
dc.description.abstract[no abstract available]eng
dc.description.versionpublishedVersioneng
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.34657/4757
dc.identifier.urihttps://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1111
dc.language.isogereng
dc.publisherBerlin : Max-Born-Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopieeng
dc.rights.licenseThis document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.eng
dc.rights.licenseDieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.ger
dc.subject.ddc620eng
dc.titleVerbundvorhaben: Forscherverbund: Vordringliche Massnahme zu Laser- und Entladungsbasierten EUV-Strahlquellen, Teilvorhaben Konversionsuntersuchungen für laserbasierte Quellen im EUV-Bereich in Abhängigkeit von relevanten Laserparametern : Abschlussberichteng
dc.typeReporteng
dc.typeTexteng
tib.accessRightsopenAccesseng
wgl.contributorMBIeng
wgl.subjectIngenieurwissenschafteneng
wgl.typeReport / Forschungsbericht / Arbeitspapiereng
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Ingenieurwissenschaften