Intelligente Zuverlässigkeit von Elektroniksystemen - iRel40; Teilvorhaben: Optische Messtechnik für die ortsaufgelöste Charakterisierung selektiver Laserprozesse bei der Bearbeitung dünner Wafer
| dc.date.accessioned | 2025-09-29T07:42:25Z | |
| dc.date.available | 2025-09-29T07:42:25Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description.abstract | Datei-Upload durch TIB | ger |
| dc.description.version | publishedVersion | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/23628 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/22645 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.publisher | Hannover : Technische Informationsbibliothek | |
| dc.relation.affiliation | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS), Teil AZOM | |
| dc.rights.license | Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany | |
| dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/ | |
| dc.subject.ddc | 600 | |
| dc.title | Intelligente Zuverlässigkeit von Elektroniksystemen - iRel40; Teilvorhaben: Optische Messtechnik für die ortsaufgelöste Charakterisierung selektiver Laserprozesse bei der Bearbeitung dünner Wafer | ger |
| dc.title.subtitle | Abschlussbericht | |
| dc.type | Report | |
| dc.type | Text | |
| dcterms.event.date | 01.05.2020-31.10.2023 | |
| dcterms.extent | 15 Seiten | |
| dtf.funding.funder | BMFTR | |
| dtf.funding.program | 16MEE0082S | |
| dtf.funding.verbundnummer | 01212450 | |
| tib.accessRights | openAccess |
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