Verbundvorhaben: SALSA - Messtechnik und Sensitivitätsanalyse für Ladungsträger-Selektive Solarzellen; Teilvorhaben: Entwicklung eines Messautomaten für eine HJT-Pilotlinie

Abstract

Im Teilvorhaben des Verbundprojekts "SALSA" sollten zunächst industriell gefertigte HJT-Zellen von Meyer Burger (Germany) GmbH, nachfolgend MBG, für Partner bereitgestellt werden. In enger Zusammenarbeit mit den Projektpartnern erfolgte eine umfassende Analyse der Zellparameter in Korrelation zu den einzelnen Teilprozessschritten. Durch ausführliche statistische Auswertung der Prozessdaten wurden Messgrößen ermittelt, die einen unmittelbaren Einfluss auf die Zelleffizienz haben. Wafer genaues Tracking von Messdaten im laufenden Produktionsprozess in der MBG Pilotlinie erlaubte ein Optimieren der Teilprozessschritte und ein Detektieren von Fehlern, Defekten und Abweichungen von kritischen Prozessparametern in Echtzeit direkt im Zellfertigungsprozess. Die auf diese Weise generierten Daten halfen, direkt auf den Fertigungsprozess optimierend Einfluss zu nehmen. Diese Vorarbeiten dienten dazu, die einzelnen Messsysteme für die Implementierung in den zu entwickelnden Messautomaten vorzubereiten und zu evaluieren. Der Messautomat wurde anschließend in die Pilotlinie seitens MBG integriert und auf seine Produktionsrelevanz getestet.