ForMikro-SiGeSn-NanoFETs; Teilvorhaben: MBE-basierte Herstellung von SiGeSn-Halbleiterstrukturen und vertikalen SiGeSn-GAA-TFETs

dc.date.accessioned2025-12-17T14:27:48Z
dc.date.available2025-12-17T14:27:48Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractDatei-Upload durch TIBger
dc.description.versionpublishedVersion
dc.identifier.urihttps://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/27840
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.34657/27070
dc.language.isoger
dc.publisherHannover : Technische Informationsbibliothek
dc.relation.affiliationUniversität Stuttgart, Institut für Halbleitertechnik
dc.rights.licenseCreative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/
dc.subject.ddc000 | Informatik, Information und Wissen, allgemeine Werke
dc.titleForMikro-SiGeSn-NanoFETs; Teilvorhaben: MBE-basierte Herstellung von SiGeSn-Halbleiterstrukturen und vertikalen SiGeSn-GAA-TFETsger
dc.title.subtitleSchlussbericht des IHT zum Verbundprojekt: ForMikro-SiGeSn-NanoFETs
dc.typeReport
dc.typeText
dcterms.event.date01.01.2020-31.03.2024
dcterms.extent24 Seiten
dtf.funding.funderBMFTR
dtf.funding.program16ES1076
dtf.funding.verbundnummer01199882
tib.accessRightsopenAccess

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