Verbundprojekt: SOLBEADO - Entwicklung und Testen von Sekundärreflektoren für ein Beam-Down-Turmkraftwerk; Teilprojekt: Entwicklung und Herstellung von Schutzschichten auf CVD-Basis zur Erhöhung der Lebensdauer von hochtemperaturstabilen Reflektoren

Abstract

Das Gesamtprojekt befasste sich mit der Erarbeitung eines Sekundärspiegels für solarthermische Kraftwerke. Für diesen wurde eine hochtemperaturstabile Sputterbeschichtung in Kombination mit einer CVD-Schutzschicht ausgearbeitet und getestet sowie auf einer Produktionslinie hergestellt. Die Firma PLASMA ELECTRONIC war für die Ausarbeitung und Herstellung der CVD-Schutzschicht zuständig. Dazu wurden bei PLASMA ELECTRONIC verschiedene Schutzschichtoptionen getestet. Unter dem Überbegriff CVD-Schutzschicht waren dies zum einen PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Depostion)-Schichten, zum anderen PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Depsotion)-Schichten und auch Kombinationen dieser beiden. Weiterhin erfolgte durch PLASMA ELECTRONIC die Hochskalierung der Prozesse.

The overall project focused on the development of a secondary mirror for solar thermal power plants. For this, a high-temperature stable sputter coating in combination with a CVD protective coating was developed, tested, and produced on a production line. The company PLASMA ELECTRONIC was responsible for the development and production of the CVD protective coating. Various protective coating options were tested at PLASMA ELECTRONIC. Under the umbrella term CVD protective coating, these included PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) coatings, PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) coatings, and combinations of these two. Furthermore, PLASMA ELECTRONIC scaled up the processes.