Abschlußbericht Lichthärtende Matrizes für die Nanoimprint-Technologie : innerhalb des BMBF/VDI-Verbundprojektes: Massiv paralleles Nanoimprint ; Berichtszeitraum: 01.09.98 - 31.08.01
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2001
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Saarbrücken : Leibniz-Institut für Neue Materialien
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Berni, A., Mennig, M., & Schmidt, H. (2001). Abschlußbericht Lichthärtende Matrizes für die Nanoimprint-Technologie : innerhalb des BMBF/VDI-Verbundprojektes: Massiv paralleles Nanoimprint ; Berichtszeitraum: 01.09.98 - 31.08.01. Saarbrücken : Leibniz-Institut für Neue Materialien.
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