KDT-Verbundvorhaben TRANSFORM - Vertrauenswürdige europäische SiC-Lieferkette für energieeffiziente Leistungselektronik; Schlussbericht Teilvorhaben SURAGUS

Abstract

Das Forschungsprojekt TRANSFORM hatte für SURAGUS zum Ziel, innovative Mess- und Charakterisierungstechnologien für Siliziumkarbid (SiC) Wafer zu entwickeln. Im Fokus standen dabei Wirbelstrommessverfahren zur präzisen Bestimmung von Materialeigenschaften in der SiC-Wertschöpfungskette. Über den Projektzeitraum wurden signifikante Fortschritte in den Bereichen Materialreferenzen, Sensorentwicklung, Algorithmenentwicklung und Automatisierungslösungen erzielt. Die Entwicklung umfasste die Bereitstellung von Kalibrierproben, die Konstruktion spezialisierter Sensoren mit verschiedenen Messkapazitäten, die Implementierung fortschrittlicher Algorithmen zur Datenauswertung sowie die Konzeption eines vollautomatisierten Messsystems. Das Projekt adressierte dabei spezifische Herausforderungen der SiC-Industrie und lieferte innovative Lösungsansätze für die industrielle Anwendung.