Industrielle fokusabstandsmodulierte, konfokale Abstandssensoren (InMoKoSens); Teilprojekt: Umsetzung, Aufbau und Validierung eines temperaturkorrigierten fokusabstandsmodulierten Konfokalsensors für die industrielle Praxis

Abstract

Gesamtziel des Forschungsvorhabens war die Erarbeitung der Grundlagen sowie die Entwicklung und Untersuchung eines optischen, hochgenauen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, konfokalen Punktsensors speziell für die Anwendung in industriellen Messumgebungen. Für die hochfrequente Fokusabstandsmodulation wurde eine TAG Linse verwendet. Der größte Vorteil dieses Sensorkonzeptes für Nutzer aus Industrie und Forschung ist die große erzielbare Messfrequenz von bis zu 70 kHz bei einer axialen Auflösung im Nanometerbereich und resultierenden hohen Scangeschwindigkeiten oder geringen Messpunktabständen. Im Ergebnis wurde ein Demonstrator des Punktsensors entwickelt der neben dem großen Messbereich eine geringe Auflösung aufweist. Durch die umfangreichen Entwicklungen im Projekt wurden eine ganze Reihe von Nebenergebnissen erzielt, die maßgeblich für die Standardprodukte der SIOS Meßtechnik sind. Dazu gehört der leistungsstabile Laser sowie eine umfangreiche FPGA Auswertung, die auf der modernen und künftigen FPGA Plattform der SIOS Meßtechnik läuft.