1 results
Search Results
Now showing 1 - 1 of 1
- ItemEnergie- und Teilcheneinstrom - Basisparameter der plasmagestützten Deposition optischer Schichten : Schlussbericht des Teilvorhabens: PluTO_PlasmaBasis im Verbundvorhaben: Plasma und Optische Technologien - PLUTO ; Berichtszeitraum: 01.05.2009 - 30.04.2014(Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB), 2014) Foest, Rüdiger; Harhausen, Jens[no abstract available]