Energie- und Teilcheneinstrom - Basisparameter der plasmagestützten Deposition optischer Schichten : Schlussbericht des Teilvorhabens: PluTO_PlasmaBasis im Verbundvorhaben: Plasma und Optische Technologien - PLUTO ; Berichtszeitraum: 01.05.2009 - 30.04.2014
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Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB)
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Dünnschichtoptik, funktionale Schichten, Plasmaquellen, Ionenquellen, plasmaionengestützte Deposition, Ionenstrahlzerstäuben, Plasmadiagnostik, Plasmacharakterisierung, Plasmamodellierung, thin film optics, functional coatings, plasma sources, ion sources, plasma ion assisted deposition, ion beam sputtering, plasma diagnostics, plasma characterisation, plasma modelling
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