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- ItemTeilprojektthema: Beschichtungstechnologie für EUV-Lithographiemasken im Verbundprojekt: Grundlagen der EUV-Lithographie: Beschichtung von EUV-Maskblanks : IOM-Abschlussbericht(Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB), 2005) Rauschenbach, B.[no abstract available]