Energie- und Teilcheneinstrom - Basisparameter der plasmagestützten Deposition optischer Schichten : Schlussbericht des Teilvorhabens: PluTO_PlasmaBasis im Verbundvorhaben: Plasma und Optische Technologien - PLUTO ; Berichtszeitraum: 01.05.2009 - 30.04.2014