Abschlußbericht zum Vernetzungsprojekt "Zinkoxidschichten für Dünnschichtsolarzellen", Teilvorhaben: Plasmaanalyse an Sputteranlagen zur ZnO-Deposition

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2005
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Publisher
Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB)
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Wiese, R., Kersten, H., Hannemann, M., & Hähnel, M. (2005). Abschlußbericht zum Vernetzungsprojekt “Zinkoxidschichten für Dünnschichtsolarzellen”, Teilvorhaben: Plasmaanalyse an Sputteranlagen zur ZnO-Deposition. Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB). https://doi.org//10.2314/GBV:545755042
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