Analyse von Gläsern, Oxiden und Konzentrationsprofilen in Oberflächen und Oberflächenbelägen mit den von hochenergetischen Projektlionen ausgelösten Sekundärionen (SIMS), Photonen (IBSCA, SCANIIR) sowie mit reflektierten Projektilionen (LEISS, HEISS)

Abstract

Der Fachausschuß I „Physik und Chemie des Glases und der Glasrohstoffe" der Deutschen Glastechnischen Gesellschaft (DGG) hat das Thema Transportprozesse bearbeitet. Eines der Ergebnisse dieser Arbeit ist, daß neue Erkenntnisse über die Transportprozesse in Gläsern besonders auch in Dünnschichtsystemen an Glasoberflächen oft nur durch Anwendung neuerer spezieller Untersuchungsmethoden erhalten werden können. Dazu geeignet scheinende Methoden wurden deshalb in die Diskussion mit einbezogen. Von besonderer Bedeutung sind dabei die Analysenmethoden SIMS, IBSCA und SCANIIR sowie LEISS und HEISS. Der vorliegende Beitrag ist die Zusammenfassung eines ausführlichen Berichts des gleichen Autors [1], der die genannten Methoden sowie die mit ihnen an Gläsern und Oxiden erhaltenen Ergebnisse eingehend behandelt und damit einen Überblick gibt, in welchen Fällen diese Methoden zur Untersuchung von Transportprozessen mit Erfolg eingesetzt werden können. Analysis of glasses, oxides and concentration profiles in surfaces or surface films using high energy ions by secondary ion emission (SIMS), photons (IBSCA, SCANIIR) and reflected ions (LEISS, HEISS) Committee I of the DGG has been considering transport phenomena. One of the results of this work is that new information on transport processes in glasses, especially thin layers on glass surfaces can often only be obtained by use of new specialized experimental techniques. Methods which might prove suitable have therefore been discussed. Of particular interest are the techniques of SIMS, IBSCA and SCANIIR together with LEISS and HEISS. The present paper is a summary of a more extended report by the same author [ 1 ] which considers the techniques mentioned and the results obtained with them on glasses and oxides. The cases in which these techniques can be expected to give useful results in the investigation of transport processes are reviewed. Analyse de verres, d'oxydes et de profils de concentration à la surface et dans les revêtements de surface à l'aide d'ions secondaires produits par des ions énergétiques incidents (SIMS), des photons (IBSCA, SCANIIR) et des ions incidents réfléchis (LEISS, HEISS) La Commission technique I „Physique et chimie du verre et des matières premières" de la „Deutsche Glastechnische Gesellschaft (DGG)" a abordé le sujet des processus de transport. On est arrivé, entre autres, à la conclusion que seul le recours à des méthodes spécifiques permettait d'obtenir de nouveaux renseignements sur les mécanismes de transport dans les verres, notamment dans les couches minces à la surface des verres. C'est ainsi que l'on discute de quelques méthodes d'analyse appropriées telles que SIMS, IBSCA et SCANIIR de même que LEISS et HEISS. Cet article est le résumé d'un rapport plus détaillé du même auteur [1] qui étudie de façon détaillée les méthodes citées, et qui donne un aperçu des résultats obtenus sur des verres et des oxydes, ce qui permet de juger de l'utilité des procédés pour l'étude des différents mécanismes de transport.