Schlussbericht zum Vorhaben „Entwicklung einer Methodik zur Bewertung der Stabilität und Leistungsfähigkeit von gepulsten Beschichtungsprozessen anhand optischer Emissionsspektroskopie“ im Rahmen des Eurostars Projekts: E! 114756 FASTSPEC „Schnelles spektrales Plasmamonitorsystem zur Verbesserung moderner gepulster Plasmaprozesse in Produktionsbeschichtungsanlagen“
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