Single source precursors for piezoelectric and optical coatings
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Date
2010
Volume
2009
Issue
Journal
Series Titel
Book Title
Publisher
Saarbrücke : Leibniz-Institut für Neue Materialien
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Abstract
[no abstract available]
Description
Keywords
Chemical Vapour Deposition, Physical Vapor Deposition, Coatings, Single Source Precursor
Citation
Veith, M., Bender, M., Bubel, C., & Aktas, C. (2010). Single source precursors for piezoelectric and optical coatings. 2009.
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