Single source precursors for piezoelectric and optical coatings

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dc.bibliographicCitation.firstPage40
dc.bibliographicCitation.journalTitleJahresbericht ... / Leibniz-Institut für Neue Materialieneng
dc.bibliographicCitation.lastPage43
dc.bibliographicCitation.volume2009
dc.contributor.authorVeith, Michael
dc.contributor.authorBender, Michael
dc.contributor.authorBubel, Carsten
dc.contributor.authorAktas, Cenk
dc.date.accessioned2016-03-24T17:39:05Z
dc.date.available2019-06-26T17:03:01Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstract[no abstract available]eng
dc.description.versionpublishedVersioneng
dc.formatapplication/pdf
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.34657/570
dc.identifier.urihttps://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/107
dc.language.isoengeng
dc.publisherSaarbrücke : Leibniz-Institut für Neue Materialieneng
dc.rights.licenseThis document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.eng
dc.rights.licenseDieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.ger
dc.subject.ddc540eng
dc.subject.otherChemical Vapour Depositioneng
dc.subject.otherPhysical Vapor Depositioneng
dc.subject.otherCoatingseng
dc.subject.otherSingle Source Precursoreng
dc.titleSingle source precursors for piezoelectric and optical coatingseng
dc.typeArticleeng
dc.typeTexteng
tib.accessRightsopenAccesseng
wgl.contributorINMeng
wgl.subjectChemieeng
wgl.typeZeitschriftenartikeleng
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Chemie