MATQu: Materials for quantum computing; Teilvorhaben: Modellieren und Einbringen von wirkungsoptimierten Phasen-Fluid - Formulierungen zur Anwendung im Photolack-Stripping und zur Oberflächenreinigung in Prozessen zur Herstellung von Quantenbits
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Hannover : Technische Informationsbibliothek
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