MATQu: Materials for quantum computing; Teilvorhaben: Modellieren und Einbringen von wirkungsoptimierten Phasen-Fluid - Formulierungen zur Anwendung im Photolack-Stripping und zur Oberflächenreinigung in Prozessen zur Herstellung von Quantenbits

dc.date.accessioned	2025-11-25T07:46:56Z
dc.date.available	2025-11-25T07:46:56Z
dc.date.issued	2024
dc.description.abstract	Datei-Upload durch TIB	ger
dc.description.version	publishedVersion
dc.identifier.uri	https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/27870
dc.identifier.uri	https://doi.org/10.34657/25671
dc.language.iso	ger
dc.publisher	Hannover : Technische Informationsbibliothek
dc.relation.affiliation	intelligent fluids GmbH
dc.rights.license	Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany
dc.rights.uri	https://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/
dc.subject.ddc	000 \| Informatik, Information und Wissen, allgemeine Werke
dc.title	MATQu: Materials for quantum computing; Teilvorhaben: Modellieren und Einbringen von wirkungsoptimierten Phasen-Fluid - Formulierungen zur Anwendung im Photolack-Stripping und zur Oberflächenreinigung in Prozessen zur Herstellung von Quantenbits	ger
dc.title.subtitle	Abschlussbericht
dc.type	Report
dcterms.event.date	01.09.2021-31.05.2024
dcterms.extent	17 Seiten
dtf.funding.funder	BMFTR
dtf.funding.program	13N15866
dtf.funding.verbundnummer	01235697
tib.accessRights	openAccess

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