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Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
| dc.contributor.author | Kuhn, Patrick | |
| dc.date.accessioned | 2016-03-24T17:38:11Z | |
| dc.date.available | 2019-06-28T07:29:08Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.description.abstract | Die Arbeit beinhaltet die Abscheidung von Ti-O-N Schichten in einem PACVD Prozess mittels Titan-iso-propylat als metall-organische Vorstufe. Nach Variation der Prozessparameter Temperatur, Plasmaleistung und Gaszusammensetzung wurde die Schichtcharakteristik bezüglich Morphologie, Mikrostruktur und chemischer Zusammensetzung beschrieben und durch die vorliegenden Rahmenbedingungen erklärt. Insbesondere dem Naturell des kalten Plasmas ist die Ausbildung eines nanostrukturierten Schichtaufbaus bei Temperaturen unter 300°C zuzuschreiben, der als nanokristallin-amorpher Komposit bezeichnet wurde. Diese zwei-phasige Mikrostruktur spiegelte sich insbesondere in den mechanischen Schichteigenschaften Härte und E-Modul wider. | eng |
| dc.description.version | publishedVersion | eng |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1032 | |
| dc.language.iso | ger | eng |
| dc.publisher | Saarbrücken : Universität des Saarlandes | eng |
| dc.relation.uri | http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2007/1252/ | |
| dc.relation.uri | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-12529 | |
| dc.rights.license | This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties. | eng |
| dc.rights.license | Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. | ger |
| dc.subject.ddc | 620 | eng |
| dc.subject.other | PECVD-Verfahren | eng |
| dc.subject.other | Titannitrid | eng |
| dc.subject.other | Beschichten | eng |
| dc.subject.other | Titandioxid | eng |
| dc.subject.other | Nanokristall | eng |
| dc.title | Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe | eng |
| dc.type | DoctoralThesis | eng |
| dc.type | Text | eng |
| tib.accessRights | openAccess | eng |
| wgl.contributor | INM | eng |
| wgl.subject | Ingenieurwissenschaften | eng |
| wgl.type | Hochschulschrift | eng |