Spaltgängigkeit bei der Plasmareinigung : gemeinsamer Abschlussbericht des Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung und Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie

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611326825.pdf(4.24 MB)
Date
2008
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Book Title
Publisher
Greifswald : Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie
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Abstract

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Keywords
URI
https://doi.org/10.34657/4767
 https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1140
Citation
Lommatzsch, U., & Foest, R. (2008). Spaltgängigkeit bei der Plasmareinigung : gemeinsamer Abschlussbericht des Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung und Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie. Greifswald : Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie.
Collections
Ingenieurwissenschaften
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