Spaltgängigkeit bei der Plasmareinigung : gemeinsamer Abschlussbericht des Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung und Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie

dc.contributor.author	Lommatzsch, Uwe
dc.contributor.author	Foest, Rüdiger
dc.date.accessioned	2016-03-24T17:38:54Z
dc.date.available	2019-06-28T07:29:28Z
dc.date.issued	2008
dc.description.abstract	[no abstract available]	eng
dc.description.version	publishedVersion	eng
dc.identifier.uri	https://doi.org/10.34657/4767
dc.identifier.uri	https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1140
dc.language.iso	ger	eng
dc.publisher	Greifswald : Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie	eng
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dc.subject.ddc	620	eng
dc.title	Spaltgängigkeit bei der Plasmareinigung : gemeinsamer Abschlussbericht des Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung und Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie	eng
dc.type	report	eng
dc.type	Text	eng
tib.accessRights	openAccess	eng
wgl.contributor	INP	eng
wgl.subject	Ingenieurwissenschaften	eng
wgl.type	Report / Forschungsbericht / Arbeitspapier	eng

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