Schlussbericht zum Vorhaben: "Entwicklung und Aufbau eines Spektralsystems mit zeitlich hoher Auflösung" im Rahmen des Eurostars Projekts E! 114756 FASTSPEC "Schnelles spektrales Plasmamonitorsystem zur Verbesserung moderner gepulster Plasmaprozesse in Produktionsbeschichtungsanlagen"

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dc.contributor.authorSchütte, Thomas
dc.contributor.authorUrbach, Jan-Peter
dc.contributor.authorNeiß, Peter
dc.contributor.authorRadloff, Marius
dc.date.accessioned2025-10-29T18:39:23Z
dc.date.available2025-10-29T18:39:23Z
dc.date.issued2024-02-29
dc.description.abstractDatei-Upload durch TIBger
dc.description.versionpublishedVersion
dc.identifier.urihttps://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/25337
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.34657/24354
dc.language.isoger
dc.publisherHannover : Technische Informationsbibliothek
dc.relation.affiliationPLASUS GmbH
dc.rights.licenseCreative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany
dc.subject.ddc000 | Informatik, Information und Wissen, allgemeine Werke
dc.titleSchlussbericht zum Vorhaben: "Entwicklung und Aufbau eines Spektralsystems mit zeitlich hoher Auflösung" im Rahmen des Eurostars Projekts E! 114756 FASTSPEC "Schnelles spektrales Plasmamonitorsystem zur Verbesserung moderner gepulster Plasmaprozesse in Produktionsbeschichtungsanlagen"ger
dc.typeReport
dc.typeText
dcterms.event.date01.06.2021-29.02.2024
dcterms.extent16 Seiten
dtf.funding.funderBMFTR
dtf.funding.program01QE2116A
dtf.funding.verbundnummer01232349
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