Schlussbericht zum Vorhaben: "Entwicklung und Aufbau eines Spektralsystems mit zeitlich hoher Auflösung" im Rahmen des Eurostars Projekts E! 114756 FASTSPEC "Schnelles spektrales Plasmamonitorsystem zur Verbesserung moderner gepulster Plasmaprozesse in Produktionsbeschichtungsanlagen"
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2024-02-29
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Hannover : Technische Informationsbibliothek
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