Schlussbericht zum Vorhaben: "Entwicklung und Aufbau eines Spektralsystems mit zeitlich hoher Auflösung" im Rahmen des Eurostars Projekts E! 114756 FASTSPEC "Schnelles spektrales Plasmamonitorsystem zur Verbesserung moderner gepulster Plasmaprozesse in Produktionsbeschichtungsanlagen"

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Date
2024-02-29
Authors
Schütte, Thomas
Urbach, Jan-Peter
Neiß, Peter
Radloff, Marius
Volume
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Journal
Series Titel
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Publisher
Hannover : Technische Informationsbibliothek
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Abstract

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URI
https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/25337
 https://doi.org/10.34657/24354
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