CZ3003 - Entwicklung einer Czochralski-Anlagentechnologie zur Herstellung von Silizium-Einkristallen mit Einwaagen größer 300 kg und Kristalllängen größer 3m; Teilvorhaben: "Numerische Simulation, Prozessentwicklung und Materialcharakterisierung"
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Hannover : Technische Informationsbibliothek
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