Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen, Teilprojekt IIIa: Charakterisierung und Modellierung lokaler Plasmen : Abschlußbericht
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Date
2000
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Book Title
Publisher
Greifswald : Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie
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Citation
Foest, R., Keller, D., & Ohl, A. (2000). Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen, Teilprojekt IIIa: Charakterisierung und Modellierung lokaler Plasmen : Abschlußbericht. Greifswald : Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie.
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