Über Möglichkeiten und Grenzen, Gläser, Nichtleiter und deren Oberflächenbeläge zur elektronenmikroskopischen Analyse durch lonenzerstäubung zu präparieren

Abstract

Es wird beschrieben, wie mit einer lonenzerstäubungsanlage Glas- und Nichtleiteroberflächen angeätzt und elektronenmikroskopisch in Durchstrahlung untersuchbare dünne Schliffe auch von sehr inhomogenen Proben und Transversalschnitte von Oberflächenbelägen hergestellt werden können. Eine Methode zur Messung der Reichweite von Ionen in dünnen Schichten gestattet es, den Grad der Zerstörung an den ionengeätzten Oberflächen abzuschätzen und die spezifischen Energieverluste zu bestimmen. Mit Ergebnissen aus der Messung der spezifischen Energieverluste und der Messung der Abtragraten ergeben sich aus einer Theorie der lonenzerstäubung nach Brandt und Laubert die Grenzen der Anwendbarkeit der Methode der lonenzerstäubung für die Präparation zur elektronenmikroskopischen Untersuchung.