Verbundprojekt: Untersuchung der Möglichkeiten zur Züchtung von SiC-Einkristallen und zur Bereitstellung von Wafern aus SiC, Teilvorhaben: Aufbau der Anlagenbasis, Kristallzüchtung und Bereitstellung von SiC-Wafern : Abschlußbericht
Loading...
Date
2001
Authors
Volume
Issue
Journal
Series Titel
Book Title
Publisher
Berlin : Leibniz-Institut für Kristallzüchtung
Link to publishers version
Abstract
[no abstract available]
Description
Keywords
Citation
Siche, D., & Rost, H.-J. (2001). Verbundprojekt: Untersuchung der Möglichkeiten zur Züchtung von SiC-Einkristallen und zur Bereitstellung von Wafern aus SiC, Teilvorhaben: Aufbau der Anlagenbasis, Kristallzüchtung und Bereitstellung von SiC-Wafern : Abschlußbericht. Berlin : Leibniz-Institut für Kristallzüchtung.
Collections
License
This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.
Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.
Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.