Verbundprojekt: Untersuchung der Möglichkeiten zur Züchtung von SiC-Einkristallen und zur Bereitstellung von Wafern aus SiC, Teilvorhaben: Aufbau der Anlagenbasis, Kristallzüchtung und Bereitstellung von SiC-Wafern : Abschlußbericht

dc.contributor.author	Siche, D.
dc.contributor.author	Rost, H.-J.
dc.date.accessioned	2016-03-24T17:38:53Z
dc.date.available	2019-06-28T07:29:25Z
dc.date.issued	2001
dc.description.abstract	[no abstract available]	eng
dc.description.version	publishedVersion	eng
dc.identifier.uri	https://doi.org/10.34657/4763
dc.identifier.uri	https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1128
dc.language.iso	ger	eng
dc.publisher	Berlin : Leibniz-Institut für Kristallzüchtung	eng
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dc.subject.ddc	620	eng
dc.title	Verbundprojekt: Untersuchung der Möglichkeiten zur Züchtung von SiC-Einkristallen und zur Bereitstellung von Wafern aus SiC, Teilvorhaben: Aufbau der Anlagenbasis, Kristallzüchtung und Bereitstellung von SiC-Wafern : Abschlußbericht	eng
dc.type	report	eng
dc.type	Text	eng
tib.accessRights	openAccess	eng
wgl.contributor	IKZ	eng
wgl.subject	Ingenieurwissenschaften	eng
wgl.type	Report / Forschungsbericht / Arbeitspapier	eng

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